儀器參數(shù)：

一、粗糙度測量

X 軸 (驅(qū)動部)

1.測量范圍: 100mm

2.分辨率: 0.5μm

3.長度基準: 高精度位移傳感器

4.驅(qū)動速度: 0 – 10mm/s

5.測量速度: 0.5 - 2mm/s

Z 軸 (立柱)

1.類型: 電動操作

2.垂直移動: 350mm

檢測器

1.范圍／分辨率: 1000μm / 0.01μm

2.測針針尖: 2um

3.示值誤差: ±5%-—±7%

4.測量重復(fù)性: ± 3% -—-±5%
5.類型: 差動電感式

6.驅(qū)動裝置的控制:手動或 PC 操作

評價參數(shù)

1.Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,

Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,

mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2

取樣長度

1.0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm

數(shù)據(jù)補償功能

傾斜補償，R 平面(曲面) 補償，橢圓補償，拋物線補償，

雙曲線補償，二次曲線自動補償，多項式補償，多項

式自動補償

二、輪廓測量

1.測量范圍:≤100mm

2.分辨率: 0.1μm

3.測量速度: 0.2, 0.5、1mm/s

4.測量方向: 向后

5.指示精度: ±(3.5+2L/100)μm

* L = 測量長度 (mm)

6.測針上／下運作: 弧形運動

7.測針方向: 向下

8.測力: 10 - 30mN

9.測針針尖半徑: 25μm, 硬質(zhì)合金針尖

       上海光學(xué)儀器一廠是國內(nèi)較早成立大型綜合 類光學(xué)儀器的生產(chǎn)企業(yè)，以顯微鏡、光學(xué)儀 器、測量工具顯微鏡、生物顯微鏡、測量投 影儀、影像測量儀、工具顯微鏡、分光光度 計、折射儀等見長，在國內(nèi)久負盛名。企業(yè) 全面改制后，開發(fā)了與電腦鏈接等特殊用途 的光學(xué)儀器。

       本公司是專業(yè)從事顯微鏡的研制和開發(fā)，在產(chǎn)品的質(zhì)量和售后服務(wù)上贏得了廣大客戶的 青睞和支持，產(chǎn)品注重模塊化、集成化和系 列化，廣泛應(yīng)用于軍工、電子、大學(xué)、航空 航天、和精密工業(yè)檢測、實驗室及測量儀器 行業(yè)，并向科研等領(lǐng)域拓展。

榮譽資質(zhì)